오산대 반도체장비과는 대한민국의 핵심 산업인 반도체 제조 산업에서 필요한 인재 양성을 목표로 설립된 전국 유일의 반도체장비 교육 특화학과다.

2023년 학과명을 전자과에서 반도체장비과로 변경, 산업체가 요구하는 반도체장비 자동화 설비 제조 및 유지보수 분야의 전문지식과 문제해결 능력을 습득하는 특화된 교육을 실시하고 있다. 또한, 다양한 산학협력 프로그램 운영 등 현장실무 중심의 교육을 통해 창의적이고 능동적인 맞춤형 기술인재 양성에 힘쓰고 있다.